Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
• Код: 152569 • Штрихкод: 9785948360393
Технологии микроэлектроники с кодом товара 152569 из серии "Мир электроники" производства "Техносфера" можно купить у нас по цене 359 рублей в Чайковском. Технологии микроэлектроники имеет размеры в высоту 1.3 см, в ширину 21.5 см и весом 0.39 кг. Книга от автора Столяров А.А. с кодом 152569 промаркировано штрих-кодом 9785948360393 с книжным номером 5-94836-039-3 (год выхода книги 2006 г) на 192 страниц.
|
|
Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы |
Фотографии Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Описание Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков при осаждении функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок.
Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям ВУЗов.
- Характеристики
- Склад
- Серия "Мир электроники"
Отзывы Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Оставить отзыв о товаре
Этот сайт защищен reCAPTCHA и Google
Политика конфиденциальности и применяются условия предоставления услуг.
- Доставка
- Оплата
Существуют следующие способы оплаты:
порядок оплаты зависит от конкретного пункта выдачи или курьерской службы
Все варианты и информация о оплате доступна в корзине при оформлении заказ
Полезные ссылки Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
